三氟甲基三甲基硅烷

• 混合气体(六氟化硫+高纯氧+三氟甲烷)对硅材料的反应离子刻蚀研究

  混合气体(六氟化硫+高纯氧+三氟甲烷)对硅材料的反应离子刻蚀研究

2024-10-10