等离子体溅射薄膜
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用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石_0112_晶面上生长ZnO薄膜的研究
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电子束蒸发和离子束溅射HfO2紫外光学薄膜
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F薄膜的制备方法离子束溅射
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F-3,4薄膜的制备方法(离子束,溅射,CVD)
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基础型三靶等离子溅射镀膜设备--金属薄膜制备
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行业标准《电子薄膜用高纯钴溅射靶材》编制说明
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行业标准《电子薄膜用高纯铝溅射靶材》编制说明
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行业标准《电子薄膜用高纯铜溅射靶材》编制说明
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电子科大薄膜物理(赵晓辉)第三章 溅射
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